Ang pagpapalawak ng produksiyon ng silikon na karbida ay nagtutulak ng mabilis na pag -unlad ng mga espesyal na kagamitan
Jul 28,2022
Ang mga aparato ng kuryente ng karbida ay nagpapabilis ng pagtagos sa automotiko at iba pang mga patlang ng aplikasyon, na nagpapakita ng malaking puwang sa merkado at umaakit ng iba't ibang mga tagagawa upang madagdagan ang pagpapalawak ng produksyon. Matapos ang unang 8-pulgada na linya ng Wolfspeed ay inilagay sa produksiyon, ang Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba kamakailan ang pagpapalawak at bagong konstruksyon ng mga linya ng produksyon ng silikon na karbida ay inihayag din.
Kung ikukumpara sa tradisyonal na mga linya ng produksiyon ng silikon na wafer, ang proseso ng pagmamanupaktura ng silikon na karbida ay nagdudulot ng iba't ibang mga kahilingan sa kagamitan.
Ang Giuseppe Arena, direktor ng proyekto ng aparato ng automotive power ng stmicroelectronics ', ay nagsabi na dahil sa natatanging mga pisikal at kemikal na mga katangian ng mga malapad na materyales, ang proseso ng pagmamanupaktura ng silikon na karbida ay naiiba sa tradisyonal na mga aparato na batay sa silikon sa epitaxial growth, ion implantation, at mataas na temperatura na pagsusubo. Ang mga module tulad ng mga espesyal na silid ay idinisenyo upang makontrol ang mga depekto at pagbutihin ang pagiging produktibo. Kinakailangan din ang mga espesyal na tool sa etching, manipis at iba pang mga link.
Tulad ng proseso ng proseso at kagamitan, ang ilang mga kumpanya ng IDM ay isinasaalang-alang ang pagbabago ng lipas na 6-pulgada na linya ng produksiyon ng silikon na wafer sa isang linya ng produksyon ng silikon na karbida. Tinantiya ng mga eksperto sa industriya na nangangailangan lamang ito ng 20 milyong dolyar ng pamumuhunan ng US upang ayusin ang proseso at bumili ng isang maliit na halaga ng mga espesyal na kagamitan. Ang ganitong uri ng pagbabagong -anyo ng linya ng produksyon ay maaaring makumpleto.
Sa kasalukuyan, ang dibisyon ng paggawa at dalubhasa ay nagsimulang lumitaw sa larangang ito, at ang mga kumpanya tulad ng X-Fab ay nakatakda na sa Silicon Carbide Foundry Business.
Ang Clas-SiC, na matatagpuan sa Scotland, UK, ay nagpapatakbo ng isang 6-pulgada na linya ng produksyon ng silikon na karbida. Ang 10-15% ng linya ng produksiyon ay nakatuon sa kagamitan sa silikon na karbida, at ang karamihan sa natitirang kagamitan ay naayos mula sa mga linya ng produksyon ng silikon. Ang kumpanya ay may pananagutan ayon kay Rae Hyndman, ang industriya ng carbide ng silikon ay nahaharap din sa paghahatid ng mga bottlenecks kapag bumili ng kagamitan sa pangalawang kamay.
Ang Silicon Carbide Market ay nangangako, at umaakit din ito sa mga tagagawa ng kagamitan upang madagdagan ang pamumuhunan sa larangang ito. Si David Haynes, isang dalubhasa sa teknikal sa Fanlin, ay nagsabi na ang karaniwang hamon na kinakaharap ng kagamitan na binuo para sa mga proseso ng silikon na wafer kapag ang pagproseso ng mga substrate ng silikon na karbida ay ang huli. Halos transparent sa nakikita at malapit-infrared na mga rehiyon, ang module ng pagtuklas ay kailangang mai-optimize.
Ang isa pang higanteng kagamitan, inilapat na materyales, ay naglunsad din ng isang bilang ng mga espesyal na kagamitan sa karbida na silikon. Ang mga kagamitan sa CMP na idinisenyo para sa mga espesyal na pisikal at kemikal na katangian ng silikon na karbida ay sinasabing makabuluhang bawasan ang mga depekto sa ibabaw ng mga wafer ng silikon na karbida, ayon kay Sally Ann Henry, direktor ng pag -unlad ng negosyo ng Shengmei Company. Sinabi na ang kasalukuyang Silicon Carbide Special Equipment market ay nasa maagang yugto ng pag-unlad, at ang karamihan sa mga IDM ay nagpapatakbo pa rin ng 6-pulgada na mga linya ng produksyon. (Mga tool sa tulay) ay magiging kaakit -akit. Ang nasabing kagamitan ay maaaring ipakilala sa 6-pulgada na linya ng produksyon. Dahil nilagyan ito ng pinaka advanced na module ng pagtuklas, maaari itong mabilis na umangkop sa hinaharap na 8-pulgada na linya ng produksyon pagkatapos palitan ang mga kabit, pag-load at pag-load ng mga module. Wire.
Kung ikukumpara sa tradisyonal na mga linya ng produksiyon ng silikon na wafer, ang proseso ng pagmamanupaktura ng silikon na karbida ay nagdudulot ng iba't ibang mga kahilingan sa kagamitan.
Ang Giuseppe Arena, direktor ng proyekto ng aparato ng automotive power ng stmicroelectronics ', ay nagsabi na dahil sa natatanging mga pisikal at kemikal na mga katangian ng mga malapad na materyales, ang proseso ng pagmamanupaktura ng silikon na karbida ay naiiba sa tradisyonal na mga aparato na batay sa silikon sa epitaxial growth, ion implantation, at mataas na temperatura na pagsusubo. Ang mga module tulad ng mga espesyal na silid ay idinisenyo upang makontrol ang mga depekto at pagbutihin ang pagiging produktibo. Kinakailangan din ang mga espesyal na tool sa etching, manipis at iba pang mga link.
Tulad ng proseso ng proseso at kagamitan, ang ilang mga kumpanya ng IDM ay isinasaalang-alang ang pagbabago ng lipas na 6-pulgada na linya ng produksiyon ng silikon na wafer sa isang linya ng produksyon ng silikon na karbida. Tinantiya ng mga eksperto sa industriya na nangangailangan lamang ito ng 20 milyong dolyar ng pamumuhunan ng US upang ayusin ang proseso at bumili ng isang maliit na halaga ng mga espesyal na kagamitan. Ang ganitong uri ng pagbabagong -anyo ng linya ng produksyon ay maaaring makumpleto.
Sa kasalukuyan, ang dibisyon ng paggawa at dalubhasa ay nagsimulang lumitaw sa larangang ito, at ang mga kumpanya tulad ng X-Fab ay nakatakda na sa Silicon Carbide Foundry Business.
Ang Clas-SiC, na matatagpuan sa Scotland, UK, ay nagpapatakbo ng isang 6-pulgada na linya ng produksyon ng silikon na karbida. Ang 10-15% ng linya ng produksiyon ay nakatuon sa kagamitan sa silikon na karbida, at ang karamihan sa natitirang kagamitan ay naayos mula sa mga linya ng produksyon ng silikon. Ang kumpanya ay may pananagutan ayon kay Rae Hyndman, ang industriya ng carbide ng silikon ay nahaharap din sa paghahatid ng mga bottlenecks kapag bumili ng kagamitan sa pangalawang kamay.
Ang Silicon Carbide Market ay nangangako, at umaakit din ito sa mga tagagawa ng kagamitan upang madagdagan ang pamumuhunan sa larangang ito. Si David Haynes, isang dalubhasa sa teknikal sa Fanlin, ay nagsabi na ang karaniwang hamon na kinakaharap ng kagamitan na binuo para sa mga proseso ng silikon na wafer kapag ang pagproseso ng mga substrate ng silikon na karbida ay ang huli. Halos transparent sa nakikita at malapit-infrared na mga rehiyon, ang module ng pagtuklas ay kailangang mai-optimize.
Ang isa pang higanteng kagamitan, inilapat na materyales, ay naglunsad din ng isang bilang ng mga espesyal na kagamitan sa karbida na silikon. Ang mga kagamitan sa CMP na idinisenyo para sa mga espesyal na pisikal at kemikal na katangian ng silikon na karbida ay sinasabing makabuluhang bawasan ang mga depekto sa ibabaw ng mga wafer ng silikon na karbida, ayon kay Sally Ann Henry, direktor ng pag -unlad ng negosyo ng Shengmei Company. Sinabi na ang kasalukuyang Silicon Carbide Special Equipment market ay nasa maagang yugto ng pag-unlad, at ang karamihan sa mga IDM ay nagpapatakbo pa rin ng 6-pulgada na mga linya ng produksyon. (Mga tool sa tulay) ay magiging kaakit -akit. Ang nasabing kagamitan ay maaaring ipakilala sa 6-pulgada na linya ng produksyon. Dahil nilagyan ito ng pinaka advanced na module ng pagtuklas, maaari itong mabilis na umangkop sa hinaharap na 8-pulgada na linya ng produksyon pagkatapos palitan ang mga kabit, pag-load at pag-load ng mga module. Wire.